Halbleiterfertigung Dresden::

Halbleiterfertigung: Die Abschirmungen sind in einem Reinraum nach ISO Class 3 eingebaut: ISO Klasse 3: z.B. sind max 35 Partikel in der Grösse 0.5µm (0.5 Mikrometer) pro m3 zugelassen.

Reinraumklassen nach ISO 14644-1

  Partikel je m²
Klasse 0.1 µm 0.2 µm 0.3 µm 0.5 µm 1.0 µm 5.0 µm
ISO 1  10 2        
ISO 2 100  24 10 4    
ISO 3  1.000  237  102  35 8  
ISO 4  10.000  2.370  1.020  352  83  
ISO 5  100.000  23.700  10.200  3.530  832  29
ISO 6  1.000.000  237.000  102.000  35.200  8.320  293
ISO 7        352.000  83.200  2.930
ISO 8        3.520.000  832.000  29.300
ISO 9       35.200.000  8.320.000  293.000

Bilder

SL370171

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IMG 3060

. SL370191
Montage der Abschirmung
 
Messung der Schirmwirkung
 
Firmenlogo

ETH Lausanne, Flächenabschirmung Labor ::

Bilder

IMG 2988 . IMG 2989 . IMG 2995
Der Laborraum während den Abschirmarbeiten: Boden, Decke, Wände werden geschirmt.
 
Montage der Wandabschirmung
 
Wandabschirmung fest verschraubt vor dem verschweissen der Stosstellen
         
IMG 3001   IMG 2989  
ETH Lausanne
Bild 4
 
Bild 5
 
 FEI TEM Installation "Video"

SBB Hauptbahnhof Zürich, Flächenabschirmungen ::

Raumabschirmungungen zur Einhaltung des AGW
 
Im grössten Bahnhof der Schweiz, dem Hauptbahnhof Zürich, musste die Trafostation 24 wegen dem Bau der neuen Durchmesserlinie örtlich versetzt werden. Direkt unter und über der Trafostation befinden Orte mit empfindlicher Nutzung "OMEN" und zwar die Läden des Shopvilles unter der Trafostation und Kioskanlagen über der Trafostation. Gemäss der Verordnung über nichtionisierende Strahlung, NISV ist der Anlagegrenzwert, AGW einzuhalten. Damit dieser eingehalten werden kann wurde die gesamte Trafostation gegenüber den OMEN nach unten und nach oben hin abgeschirmt. Die Trafostation umfasst drei separate Räume, je einen Raum für die vier Transformatoren, die Mittelspannungsschaltanlage und die Niederspannungsverteilung. Die Räume wurden auf allen Seiten, also Boden, Decke, Wände mit Systron PowerShield® passive geschirmt. Die geschirmte Fläche beträgt insgesamt etwa 800m2.
NSV-Raum-letzte-Schweissnaht . NSV-Raum-mit-Rost . MS-Raum-mit-MS
Der Niederspannungsraum während den Abschirmarbeiten: Boden, Decke, Wände sind geschirmt.
 
Der Niederspannungsraum fertig geschirmt. Die Rahmen für die Verteilung sind bereits gesetzt.
 
Der Mittelspannungsraum fertig geschirmt mit eingebauter Mittelspannungsanlage.

Binnig und Rohrer Nanotechnologiezentrum, "Low Field Rooms™"::

"Low Field Rooms™" für Nanotechlabors

Beschreibung Konzept

Im Binnig und Rohner Nanotechnologiezentrum, Rueschlikon, Zürich, wurden so genannte "Noisefree" Räume, Labore für extrem sensitive Messungen und Experimente implementiert. Diese Labore wurden unter anderem auch gegenüber dem Einfluss von niederfrequenten Magnetfeldern geschützt. Die Spezifikation: "Magnetfelder Bahn 16.7 Hz und hauseigene 50 Hz Felder (und Oberwellen) sind auf Werte <5nT zu begrenzen (Interne Spezifikation für rauschoptimierte Labors, Noise Free Labs)". Als hauseigene Quellen wurden die Trafostation mit NS-Verteilung und MS-Anlage, die Klimazentrale und Kabelkanäle als Hauptstörquellen benannt. Zusätzlich mussten die DC-Felder des Aufzugs und die Felder von an die Anlieferung an- und weg fahrenden Lastwagen ins Konzept mit einbezogen werden.
 
Das garantierte Einhalten der vorgegebenen Werte wurde mit dem eigens für diese Labors entwickelten "Low Field Room™" Konzept von Systron EMV GmbH gewährleistet, einer Kombination aus Magnetfeldabschirmung und Kompensationsanlage. Die Abschirmung erfüllt die Funktion einer "Basis-" Feldreduktion, die Kompensation begrenzt die Restfelder auf die geforderten Werte. Speziell an dem System ist, dass die Abschirmung und das Kompensationssystem jeweils aufeinander abgestimmt sind damit keine Wechselwirkungen zwischen den Systemen entstehen.

Passive Abschirmung und aktive Kompensation

Passive Abschirmung: Die aus weichgeglühtem Nickel Eisen (sogenannte "Mu-Metalle") und Aluminium bestehende passive Abschirmung wurde in allen Labors vollflächig auf Böden, Wänden und Decken installiert. Ergänzend zu den Labor-Raumabschirmungen wurden die Wände und Decke der betriebseigenen Trafostation und Klimazentrale in gleicher Art geschirmt. Die passive Abschirmung der Labore reduziert einerseits äussere Störfelder und verhindert andererseits, dass Felder aus den Labors in benachbarte Labore eindringen. Die passive Abschirmung homogenisiert die Felder so, dass eine grossvolumige Kompensation möglich wird.
Aktive Kompensation:
Nachdem die Felder mittels den passiven Raumabschirmungen bereits stark reduziert sind, werden die Restfelder mit der Kompensation (32dB) auf <5nT reduziert. Über einen Sensor (so nahe wie möglich an den „Tools“ platziert) werden die im Raum vorhandenen Restfelder gemessen und über sechs Spulenpaare durch Gegenfelder kompensiert. Die Kompensationsanlage arbeitet im Frequenzbereich zwischen 0.001Hz (DC) und 10kHz. Es werden damit sowohl DC- (Aufzug, Lastwagen, Türen) als auch AC-Felder (Bahn- und Netzstrom) kompensiert.

Bilder

IBM Binnig und Rohner Nanotechcenter, Neubau Grundriss IBM Noise Free Labs Noise Free Lab im Rohbau Magnetfeldmessung im Noise Free Lab
Im Bau: Binnig und Rohner Nanotechnologiezentrum
Grundrisse der "Noise Free Labs"
"Noise Free Lab" im Rohbau, Raumhöhe 6.4m
Überprüfung der Messwerte während Abschirmungsarbeiten
Raum geschirmt mit Innenwand IBM Noise Free Labs Lüftungsdurchführungen IBM Noise Free Labs abgeschirmte Mediendurchführungen IBM Noise Free Lab abgeschirmt mit Powershield
"Noise Free Lab" Vormauerung
Abgeschirmte Lüftungsdurchführungen
Abgeschirmte Mediendurchführungen
"Noise Free Lab" fertig ausgebaut

Messergebnisse

Schirmwirkung der passiven Abschirmung bezüglich Nahfeldern:
Magnetfeldmessung Spule
Magnetfeldmessung Noise Free Lab
Reduktionsfaktor passive Abschirmung: 30-50
 
Mit dieser Messung wurde die Abschirmwirkung der passiven Abschirmung betreffend Störquellen im Nahbereich überprüft. Mit einer ausserhalb des Labors platzierten Spule wurden 50Hz Magnetfelder generiert und die Werte innerhalb und in gleicher Distanz ausserhalb des Labors gemessen. 

 
Messaufbau
Messergebnisse

Schirmwirkung der passiven Abschirmung bezüglich Feldern mit Einzelleiter Charakteristik:
Situation Magnetfeldmessung Magnetfeldmessung Noise Free Lab
Reduktionsfaktor passive Abschirmung: 20-30

Mit dieser Messung wurde die Abschirmwirkung der passiven Abschirmung betreffend Störquellen mit Einzelleiter Charakteristik (Ausgleichsströme) überprüft. Mit einem ausserhalb des Labors platzierten Einzelleiter wurden 50Hz Magnetfelder generiert und die Werte innerhalb und in gleicher Distanz ausserhalb des Labors gemessen.
Messaufbau
Messergebnisse  

Feldreduktion der aktiven Kompensation:
dc felder ohne kompensation dc felder mit kompensation
Reduktionsfaktor aktive Kompensation

Mit dieser Messung wurde die Wirkung der aktiven Kompensation überprüft. Als Quelle diente der Warenaufzug welcher auch in einer Distanz von 15m noch störend wirken kann. Deshalb wird der Warenaufzug während sensiblen Messungen blockiert. DC-Störfelder von Fahrzeugen werden mit dem Kompensationssystem aktiv begrenzt.
 
DC Felder nicht kompensiert
 DC-Felder kompensiert
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